钙钛矿激光划线机

钙钛矿激光划线设备涵盖1200mm*2400mm产品激光划线，具备独立分光系统，多路光束同时加工技术，采用高速精密的气浮平台，高分辨率的CCD影像定位系统，具备自主研发的抽尘系统，支持光斑整形技术，产品具有自主知识产权。

工作台定位精度

±2μm

刻蚀速度

<3000mm/s

设备尺寸

1950mmLx1700 mmWx1960mmH

设备重量

3500kg

功率消耗

<3000W

产品优势

具备独立分光系统，单设备多路光束，划线速度2.5m/s;

实时监控功率自动校准;

采用无摩擦气浮式运动轴，匹配高精度相机等配置，保证设备精度及稳定性。

技术参数

参数	数值
激光器	飞秒、皮秒激光器，波长1030nm/532nm 纳秒激光器，波长1064nm
加工幅面	1200600mm（可定制小幅面或更大加工幅面，已预留小面积300300mm加工幅面）
聚焦光斑	≥10μm/≥20μm
激光器频率调节范围	20-5000KHz?/100-500KHz
刻蚀最小线宽	≥10μm/≥20μm
刻蚀最小线宽	(最大可以去除95%以上的氧化物镀层)
整机精度	±15μm/±20μm
最小线间距	≥10μm/≥20μm
工作台定位精度	±2μm
工作台重复精度	±1μm
CC自动定位精度	±2μm
刻蚀速度	<3000mm/s
设备尺寸	1950mmLx1700mmWx1960mmH
设备重量	3500kg
功率消耗	<3000W
可处理文件格式	标准CAD2004版DXF文件